超精密 Motion Stage for FPD/Semiconductor
Bearing 类型 of Stage: Air Bearing System
Laser Applications
· Laser System: Cutting Head + Scanner System
超精密气浮轴承平台
-
超精密气浮轴承平台
-
通过使用真空预压多孔气浮轴承提高平台移送真直度及pitch error
-
通过测量调整Yaw Error 及真直度
-
高负载量 / 高动刚性
-
超精密 精密度及反复度Ultra-precision Accuracy and Repeatability
-
应用领域 : LCD/OLED 激光制程, 检测设备, 微细加工
超精密气浮轴承平台
■ SiC (Silicon Carbide) 陶瓷为基础的 Motion Stage
■ Bearing 种类 / Scale / Type of Bearing /规模/ 隔离系统
- · Bearing: 空气 / 吸入 Air Bearing系统
- · 规模: Laser 规模
- · 隔离系统: Active
-
SiC 陶瓷为基础的Stage
-
空气真空和气浮轴承系统的结合
-
通过激光测定计, 独立式系统运行
