FPD STAGE 1
运行范围 : 模组 46 “~ 57”(二重吸盘平台)
导轨 : 线性导轨（ LM guide ）
电机: 无芯型直线电机
控制器 : ACS & U-mac
主要特点
- 快速，稳定 : 扫描动作
- 高刚性及稳定的系统
- 高级机制及控制
- 有效运用空间
- 防震设计
FPD STAGE 2
运行范围 : 第6~8代
导轨 : 线性导轨（ LM guide ）
电机: 有芯型直线电机
控制器 : ACS & U-mac
主要特点
- 快速，稳定 : 扫描动作
- 高刚性及稳定的系统
- 高级机制及控制
- 有效运用空间
- 防震设计
FPD STAGE 3
运行范围 : 第4~7.5代
导轨 : 线性导轨（ LM guide ）
电机: 无芯型直线电机
控制器 : ACS & U-mac
主要特点
- 快速，稳定 : 扫描动作
- 高刚性及稳定的系统
- 高级机制及控制
- 有效运用空间
- 防震设计
FPD STAGE 4
运行范围 : 第4~7.5代
导轨 : 线性导轨（ LM guide ）
电机: 无芯型直线电机
控制器 : ACS & U-mac
主要特点
- 快速，稳定 : 扫描动作
- 高刚性及稳定的系统
- 高级机制及控制
- 有效运用空间
- 防震设计
