抗静电高刚性陶瓷制造技术

电阻控制多孔陶瓷制造技术

电阻控制多孔陶瓷真空吸盘制造技术

利用陶瓷的零件化技术 (专利 10-1692219)

· 抗静电多孔陶瓷 (Anti-static Porous Ceramic)
  控制气孔大小 (1~20㎛)和 气孔率(10~48%)， 应用于Air Bearing, Ceramic Chuck和 FPD用
  chuck & Air-floating system
  通过控制电阻，能够具备抗静电特性

Ceramic Air Bearing and Ceramic Chuck

通过均匀的气孔分布，能够实现高精密气浮和吸附

精密浮起时基盘的摇动为 5㎛ 以下

因高温烧结体，不产生Particle issue