Vacuum chuck
Tri-N 拥有多孔陶瓷原料混合及生产/应用能力
- 抗静电高刚性陶瓷制造技术
- 电阻控制多孔陶瓷制造技术
- 电阻控制多孔陶瓷真空吸盘制造技术
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利用陶瓷的零件化技术 (专利 10-1692219)
- 抗静电多孔陶瓷 (Anti-static Porous Ceramic) 控制气孔大小 (1~20㎛)和 气孔率(10~48%)， 应用于Air Bearing, Ceramic Chuck和 FPD用 chuck & Air-floating system 通过控制电阻，能够具备抗静电特性
- Ceramic Air Bearing and Ceramic Chuck
- 通过均匀的气孔分布，能够实现高精密气浮和吸附
- 精密浮起时基盘的摇动为 5㎛ 以下
- 因高温烧结体，不产生Particle issue
FPD工程应用抗静电陶瓷真空吸盘的例子
应用于半导体设备的陶瓷吸盘的例子
