FPD STAGE
FPD STAGE 1
- 运行范围 : 模组 46 “~ 57”(二重吸盘平台)
- 导轨 : 线性导轨（ LM guide ）
- 电机: 无芯型直线电机
- 控制器 : ACS & U-mac
-
主要特点
- - 快速，稳定 : 扫描动作
- - 高刚性及稳定的系统
- - 高级机制及控制
- - 有效运用空间
- - 防震设计
FPD STAGE 1 Specifications
| SPECIFICATIONS | X0, X1 : Gantry axis | Y : Cross axis |
|---|---|---|
| Stroke | 1,1200㎜ | 1,441㎜ |
| Velocity | 800㎜/s | 800㎜/s |
| Acceleration | >0.2G | >0.2G |
| Accuracy | ± 0.3㎛/FS | ± 0.9㎛/FS |
| Repeatability | ± 0.2㎛ | ± 0.4㎛ |
| Fiatness | ± 1.5㎛/FS | ± 2.6㎛/FS |
| Straightness | ± 2.4㎛/FS | ± 2.4㎛/FS |
| Yaw | ± 1.3acr-sec | ± 2.6acr-sec |
| Pitch | ± 2.7acr-sec | ± 5.6acr-sec |
| Position stability | <± 0.1㎛ | <± 0.1㎛ |