FPD STAGE
FPD STAGE 4
- 运行范围 : 第4~7.5代
- 导轨 : 线性导轨（ LM guide ）
- 电机: 无芯型直线电机
- 控制器 : ACS & U-mac
-
主要特点
- - 快速，稳定 : 扫描动作
- - 高刚性及稳定的系统
- - 高级机制及控制
- - 有效运用空间
- - 防震设计
FPD STAGE 4 Specifications
| Specifications | LEFT | RIGHT | |
|---|---|---|---|
| Straightness | Table Moving Axis | 12㎛ | 15㎛ |
| Cross Axis(X) | 12㎛ | 9㎛ | |
| Gantry Axis(Y) | 7㎛ | 8㎛ | |
| Flatness | Table Moving Axis | 11㎛ | 13㎛ |
| Cross Axis(X) | 8㎛ | 6㎛ | |
| Gantry Axis(Y) | 8㎛ | 7㎛ | |
| Orthogonality | 3.8arc-sec | 3.5arc-sec | |
| Flatness of Table | 35㎛ | 35㎛ | |