FPD STAGE
FPD STAGE 2
- 运行范围 : 第6~8代
- 导轨 : 线性导轨（ LM guide ）
- 电机: 有芯型直线电机
- 控制器 : ACS & U-mac
-
主要特点
- - 快速，稳定 : 扫描动作
- - 高刚性及稳定的系统
- - 高级机制及控制
- - 有效运用空间
- - 防震设计
FPD STAGE 2 Specifications
| Specifications | X0, X1 : Gantry axis | Y : Cross axis |
|---|---|---|
| Stroke | 2,640㎜ | 2,480㎜ |
| Velocity | 400㎜/s | 500㎜/s |
| Acceleration | >0.2G | >0.4G |
| Accuracy | ± 0.1㎛/FS | ± 0.1㎛/FS |
| Repeatability | ± 0.6㎛ | ± 0.6㎛ |
| Fiatness | ± 10.2㎛/FS | ± 8.2㎛/FS |
| Straightness | ± 5.5㎛/FS | ± 7.0㎛/FS |
| Yaw | ± 5acr-sec | ± 5acr-sec |
| Pitch | ± 5acr-sec | ± 5acr-sec |
| Position stability | <± 0.1㎛ | <± 0.1㎛ |