FPD STAGE
FPD STAGE 3
- 运行范围 : 第4~7.5代
- 导轨 : 线性导轨（ LM guide ）
- 电机: 无芯型直线电机
- 控制器 : ACS & U-mac
-
主要特点
- - 快速，稳定 : 扫描动作
- - 高刚性及稳定的系统
- - 高级机制及控制
- - 有效运用空间
- - 防震设计
FPD STAGE 3 Specifications
| Specifications | X0, X1 : Gantry axis | Y : Cross axis |
|---|---|---|
| Stroke | 2,600㎜ | 2,500㎜ |
| Max. Velocity | 1200㎜/s | 1200㎜/s |
| Max. Acceleration | >0.5G | >0.5G |
| Fiatness | ± 5㎛/FS | ± 10㎛/FS |
| Straightness | ± 6.2㎛/FS | ± 7.5㎛/FS |
| Yaw | ± 2.1acr-sec | ± 11.1acr-sec |
| Pitch | ± 3.7acr-sec | ± 6.7acr-sec |